失效分析基本概念
1.進行失效分析往往需要進行電測量并采用先進的物理、冶金及化學的分析手段。
2.失效分析的目的是確定失效模式和失效機理,提出糾正措施,防止這種失效模式和失效機理的重復出現。
3.失效模式是指觀察到的失效現象、失效形式,如開路、短路、參數漂移、功能失效等。
4.失效機理是指失效的物理化學過程,如疲勞、腐蝕和過應力等。
失效分析的意義
1.失效分析是確定芯片失效機理的必要手段。
2.失效分析為有效的故障診斷提供了必要的信息。
3.失效分析為設計工程師不斷改進或者修復芯片的設計,使之與設計規范更加吻合提供必要的反饋信息。
4.失效分析可以評估不同測試向量的有效性,為生產測試提供必要的補充,為驗證測試流程優化提供必要的信息基礎。
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